MOCVD设备用过滤器滤芯

MOCVD设备用过滤器滤芯的规格尺寸因设备型号和厂商不同而有所差异。根据新公开资料，以下是几种常见MOCVD设备滤芯的规格尺寸信息：

Veeco K465i / K475i 系列滤芯

‌尺寸‌：‌248 mm × 900 mm‌（直径×长度）‌

‌结构‌：通常为‌2只/组‌（粗滤+细滤）

‌材质‌：

滤材：耐高温玻纤滤料

支撑：双面304#不锈钢金属网

骨架：304#不锈钢菱形网

密封：硅发泡橡胶垫片 + 硅橡胶

AIXTRON G5 系列滤芯

‌尺寸‌：未明确给出具体数值，但标注为“‌规格齐全‌”，支持定制‌

‌典型应用‌：用于爱思强MOCVD设备尾气处理，过滤精度可达‌1μm 或 25μm‌（视型号而定）‌

凯洛特滤芯（通用MOCVD滤芯）

‌常见规格‌：标注“‌规格齐全‌”，支持按需定制‌

‌工作温度‌：耐高温 ‌280℃‌

‌过滤精度‌：‌1μm 至 25μm‌ 可选

‌进出口径‌：部分型号为 ‌225 mm‌ ‌

• 上一篇：没有了
• 下一篇：LED外延设备过滤器滤芯的种类有哪几种