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上海中微设备92-bk-6-k-135过滤器

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产品类别:MOCVD设备尾气滤芯

产品说明:上海中微设备92-bk-6-k-135过滤器中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔

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产品介绍

PRODUCT INTRODUCTION

上海中微设备92-bk-6-k-135过滤器

中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。 配备了 716 毫米托盘的中微 PRISMO A7® MOCVD 设备专为 LED 高产能而设计,每个反应腔的产量是前一代MOCVD 设备 PRISMO D- BLUE® 的 2 倍多,极大地提高了单位产能,能有效降低 LED 外延片的生产成本。



产品优势

PRODUCT ADVANTAGES

  • 专业研发

    专业的研发技术人员

  • 种类齐全

    研究产品种类多种多样

  • 抗压性强

    产品可长时间抵抗压力

  • 完善售后

    拥有完善的售后服务体系

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