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产品类别：MOCVD设备尾气滤芯
产品说明：上海中微设备92-bk-6-k-135过滤器中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔
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PRODUCT INTRODUCTION
中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔，可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一设计可以实现优异的生产灵活性。 配备了 716 毫米托盘的中微 PRISMO A7® MOCVD 设备专为 LED 高产能而设计，每个反应腔的产量是前一代MOCVD 设备 PRISMO D- BLUE® 的 2 倍多，极大地提高了单位产能，能有效降低 LED 外延片的生产成本。
