MOCVD机台光电设备滤芯

凯洛特公司主要生产Veeco K465i外延设备滤芯_MOCVD设备过滤器_高温粉尘滤芯_玻纤滤芯  拥有国内外 的生产设备、工艺装备和高精度的检测手段 ，严格可靠的质量体系。产品具有过滤精度高、起始压差小、流通能力大、纳污容量大以及使用寿命长的特点。主要性能指标达到国际 水准，可直接替代同类进口产品。 康华过滤科技 可生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465，K465i，E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计，订做。（调整：尺寸，使用材料，整体构造等）为客户产品打造合适的滤芯，确保各种过滤要求，达到 过滤效果。 Veeco  K465 K465i E300外延设备滤芯 产品说明： 该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒； 2只/组（粗滤、细滤） 组成材料： 1、滤材： 耐高温玻纤滤料 2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网 3、骨架：304#不锈钢菱形网 4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片 5、密封胶：硅橡胶 规格： 1、端盖：φ360 、 304#不锈钢 2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T5 3、折数：一级（100μm）:1 20 折, 折高65mm;二级（25μm）: 90 折，折高65mm 过滤效率： 1、粗滤：100μm=90% 2、细滤：25μm=99.95% 3、透气量：1000L/Sec/㎡ 产品特性： 1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。 2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。 3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。 4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。